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刘宏星专利技术
刘宏星共有2项专利
一种半导体检测用支撑结构制造技术
本发明公开了一种半导体检测用支撑结构,涉及到半导体领域,包括底板,所述底板的顶侧通过多个第一伸缩杆安装有固定盘,所述固定盘上开设有多个滑孔,多个所述滑孔内均滑动安装有弹顶单元,多个所述弹顶单元的顶侧位于同一平面,所述固定盘的顶侧通过调节...
一种多尺寸集合外延片装置制造方法及图纸
本发明公开了一种多尺寸集合外延片装置,涉及到半导体领域,包括主体,所述主体上均匀安装有多个适配夹持机构,所述适配夹持机构包括设置在所述主体内的底边卡槽和两个侧边卡槽,两个所述侧边卡槽相互远离的侧部均安装有调节螺筒。本发明结构合理,当向上...
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