刘冬雯专利技术

刘冬雯共有4项专利

  • 本实用新型公开了一种直拉单晶炉,属于单晶硅生产领域,直拉单晶炉包括坩埚和加热器,加热器的外围设有保温层,坩埚包括用于承装熔体的石英坩埚和套设在石英坩埚外的外围支撑坩埚;加热器包括包围在坩埚周围的主加热器和设置在坩埚的底部的辅加热器;保温...
  • 本实用新型公开了一种降低晶体缺陷的单晶炉,属于单晶炉设备技术领域,包括坩埚和包围在坩埚外面的加热器,加热器包括加热筒体和设置在加热筒体底部的至少四个电极脚;加热筒体由上下迂回的U字型石墨条制成;加热器的高度不高于坩埚内溶体的高度,加热筒...
  • 本发明公开了一种直拉单晶炉及其纵向温度梯度的测定控制方法,属于单晶硅生产领域,直拉单晶炉包括坩埚和加热器,加热器的外围设有保温层,坩埚包括用于承装熔体的石英坩埚和套设在石英坩埚外的外围支撑坩埚;加热器包括包围在坩埚周围的主加热器和设置在...
  • 本发明公开了一种降低晶体缺陷的单晶炉,属于单晶炉设备技术领域,包括坩埚和包围在坩埚外面的加热器,加热器包括加热筒体和设置在加热筒体底部的至少四个电极脚;加热筒体由上下迂回的U字型石墨条制成;加热器的高度不高于坩埚内溶体的高度,加热筒体的...
1