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林小花专利技术
林小花共有1项专利
一种半导体材料处理系统及方法技术方案
本发明涉及半导体材料加工技术领域,更具体的说是一种半导体材料处理系统及方法;该方法包括以下步骤:步骤一:使用原料成型出圆柱状半导体硅锭;步骤二:通过切割的方式从半导体硅锭上切割下来圆形硅晶片;步骤三:将硅晶片进行装夹、定位并对硅晶片进行...
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