本发明的目的是使ＩＰＡ蒸汽的状态稳定，缓解甚至消除干燥不良现象。在设于处理槽（１１）上方的开口部（２２）两侧相对设置喷嘴（１３）以及排气件（１４）。处理槽（１１）的侧壁随着从下方附近接近开口部（２２）而向内侧圆滑弯曲。喷嘴（１３）将氮气...

将氮气供给喷嘴３４，产生通过喷气孔３５喷出的氮气的喷射气流３６。喷射气流３６呈膜状，沿处理槽１１的侧壁的内侧表面上升，然后通过在处理槽１１的上部形成的吸气口３３，到达外部被收回。由于处理槽１１的侧壁的内侧表面被喷射气流３６覆盖，所以能抑...