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廖栽宜专利技术
廖栽宜共有1项专利
折射面入光探测器的制作方法技术
一种折射面入光探测器的制作方法,制作过程包括如下步骤:步骤1: 在衬底上采用MOCVD的方法生长探测器材料结构;步骤2:在探测器材料 结构的上面制作p型欧姆接触;步骤3:在p型欧姆接触的周边向下刻蚀, 形成探测器台面结构;步骤4:在步骤...
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