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昆山微电子技术研究院专利技术
昆山微电子技术研究院共有21项专利
一种石墨烯/铜复合金属互连线的制备方法技术
本发明提供了一种石墨烯/铜复合金属互连线的制备方法,包括以下步骤:A)将铜粉和石墨烯混合后进行球磨,得到混合粉体;所述石墨烯占所述混合粉体质量的1~8%;B)在保护性气氛下,将所述混合粉体进行微波热压烧结,和热等静压,得到铜/石墨烯靶材...
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