本申请公开一种探针自动对齐的方法

本说明书实施例提供一种基于反事实解释的晶圆缺陷检测方法及系统，属于半导体集成电路制造领域，其中，该方法包括：获取待检测晶圆图像；通过图像生成模型基于待检测晶圆图像，生成待检测晶圆图像对应的反事实解释图像；基于待检测晶圆图像及待检测晶圆图...

本发明公开了一种晶圆缺陷未知类别检测及分类的方法及系统，涉及半导体工业缺陷检测领域，方法包括：使用晶圆图预处理模块，将晶圆生产线AOI设备获取的晶圆图数据转换为用于模型训练的数据集数据；建立基于增量学习方法的卷积神经网络模型；训练卷积神...

本申请属于温度监控技术领域，具体涉及一种基于正弦函数的回流焊的温度监控方法、设备及存储介质。该方法包括：获取回流焊的历史温度数据；基于历史温度数据修正预设正弦函数，得到温度监控模型；基于温度监控模型构建HotellingT2控制图；通过...

本申请涉及生产线制造领域，具体涉及一种生产线缺陷自动管理方法、装置、设备及存储介质。其包括：获取生产线制造的产品存在缺陷时生产线设备对应的设备状态；设备状态包括生产线设备的控制指令和工艺参数；获取预训练的状态优化模型；将设备状态输入状态...

本发明涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种自动晶圆缺陷检测方法、系统、设备及存储介质。应用于分布式检测设备中，所述分布式检测设备与晶圆生产机台一一对应，该方法包括：获取待检测晶圆的晶圆图像；获取所述分布式检测设备对应的学生网络模型；将所述...

本申请涉及一种制程问题分析方法、设备及存储介质，属于半导体制造技术领域，该方法包括：获取问题分析需求和待分析资料的标签；确定每个数值型变数与制程问题的相关性；建立分类模型得到分类模型的训练分数；对于每个数值型变数与制程问题的组合，使用组...

本实用新型涉及一种基于物联网平台的联机系统，包括物联网平台以及分别与物联网平台连接的若干设备、存储器以及智能移动终端，还包括：与物联网平台连接的运行状态监测装置、定位装置、自动检测系统和用于用户在设备上输入设备运行状态的参数范围的参数预...

本发明涉及一种用于设备健康评估和维护的系统，包括设备监控单元以及分别与设备监控单元通讯连接的传感器单元和、设备运行状态单元和工件参数单元，还包括分别与设备监控单元通讯连接的状态监控单元和数据分析单元，状态监控单元和状态评估单元通讯连接，...

本发明涉及一种用于光阻瓶的控制系统及方法，在光阻瓶放置于平台上的情况下，设置于平台上定位装置、识别装置、感应装置分别对光阻瓶的位置、电子标签及其状态进行持续读取，获取光阻瓶的信息；通过控制器判断光阻瓶信息是否合格；如果不合格，则根据光阻...

本实用新型涉及一种用于物联网的信号转换装置，包括无线通讯模块、处理器、信号转换模块、信号发送模块和信号采集模块，无线通讯模块、处理器和信号转换模块依次连接，信号发送模块和信号采集模块分别与信号转换模块交互连接，处理器和信号转换模块依次连...

本实用新型涉及一种物联网信号转换装置，包括壳体以及分别置于壳体外的指示灯和电源插接口，以及分别与所述电源插接口连接的信号收发器、信号转换芯片、数字信号分发芯片、存储器和检测器，所述信号收发器、信号转换芯片、数字信号分发芯片、存储器和检测...

发明提供一种定位追踪方法，包括如下步骤：分区信息录入步骤、身份信息录入步骤、身份识别步骤、位置获取步骤、分区判断步骤、有权限者判断步骤、以及身份对比步骤。本发明通过将NFC技术与UWB定位技术结合应用在工业化场景中,可实现人员或者物品的...

发明提供一种定位追踪系统，包括一区域及一数据处理系统；所述数据处理系统包括分区信息单元、身份信息录入单元、身份识别单元、位置获取单元、分区判断单元、权限者判断单元和身份对比单元。本发明通过将NFC技术与UWB定位技术结合应用在工业化场景...