本发明提供一种低温泵系统，包括低温泵以及向上述低温泵供给高压的氦制冷剂的压缩机，其中，该低温泵系统包括：温度测量部，对低温泵的一级台部和二级台部中的上述二级台部的温度进行测量；监视部，对上述二级台部的温度是否达到预设的二级基准温度进行监...

本发明一种低温泵的再生方法，该低温泵包括：制冷机，具备一级台部和相比上述一级台部冷却至低温的二级台部；低温板，包括通过上述一级台部冷却的包含隔热体和隔板的一级面板以及通过上述二级台部冷却的二级面板；低温泵容器，包围上述低温板；第一加热器...

本发明提供一种低温泵系统，包括：温度测量部，对低温泵的一级台部和二级台部各自的温度进行测量；监视部，对上述二级台部的温度是否达到预设的二级基准温度进行监视；以及控制部，在每次上述二级台部的温度达到上述预设的二级基准温度时，使上述低温泵的...

本发明提供一种低温泵的再生方法，该低温泵包括：制冷机，具备一级台部和二级台部，使用高压制冷剂来冷却上述一级台部和上述二级台部；低温板，包括通过上述一级台部冷却的一级面板和通过上述二级台部冷却的二级面板；低温泵容器，包围上述低温板，包括包...

一种在低温泵中进行真空排气的方法，上述低温泵具有1级台部和2级台部，并包括：制冷机，对上述1级台部和上述2级台部进行冷却；低温面板，其包括由上述1级台部冷却的1级面板以及由上述2级台部冷却的2级面板；低温泵容器，其围绕上述低温面板；第一...