公开了一种在半导体或显示器制造设施中使用的狭缝阀。狭缝阀包括：阀体，其具有限定在其中的闸门；主体，其联接到阀体的底部；设置在阀体内部的打开/关闭叶片，其中打开/关闭叶片垂直移动以使闸门打开或关闭；以及驱动器单元，其设置在主体内部并且联接...