克赖斯特股份有限公司专利技术

克赖斯特股份有限公司共有1项专利

  • 用吸附法从半导体制造工艺冲洗水中除去在15℃下与水互溶数量至少为10%(重量)的亲水有机杂质和/或过氧化氢的方法,其特征在于,使冲洗水通过其碳含量至少为85%(重量)和碳/氢原子比为1.5∶1至20∶1的、由大网络磺化乙烯基芳族聚合物制...
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