根据本发明的半导体工艺的废气处理系统包括：反应器主体，其上部开放的圆筒；管道，其设置在所述反应器主体的内部空间中，并且上侧和下侧开放的同时，形成多个开口；块状加热器，其插入到所述多个开口中接近所述反应器主体内壁的第一开口，并且通过比所述...