沟槽ＭＯＳＦＥＴ包含邻近栅极沟槽的凹陷场板（ＲＦＰ）沟槽。ＲＦＰ沟槽包含ＲＦＰ电极，ＲＦＰ电极通过沿ＲＦＰ沟槽的壁的介电层与管芯绝缘。栅极沟槽具有厚的底部氧化物层，并且栅极沟槽和ＲＦＰ沟槽优选在相同的加工步骤中形成并且深度基本相同。当Ｍ...