一种半导体装置及其制造方法，半导体装置包含多个晶粒、保护层、多个栅极金属层、多个源极金属层及漏极金属层。各晶粒包含栅极接点、源极接点及漏极接点，漏极接点设置于晶粒的背面。多个栅极开口个别地对应于各晶粒的栅极接点，多个源极开口个别地对应于...