一种半导体晶圆干燥机的定速排水装置，该排水装置为一定速排水装置，在干燥机的干燥槽下方预定部位设有一出水管并与一软管的下端连接，再由该软管的上端固定在一连接座上方，而该连接座的另一侧则与固定在定位架上方的排水导杆的轴心连结，是以当该排水导...

一种改进的晶圆干燥机的顶移装置，该顶移装置设在干燥机的干燥槽内，可将晶圆架上方的晶圆顶移以配合干燥槽内的干燥作业；其中，该传动杆上方直接与顶移座底部预设的嵌槽嵌套连接，而其下方则穿套入一轴套内，且该传动杆下方具有内螺牙孔可直接与一汽缸的...

一种半导体晶圆干燥方法，包括有以下步骤：Ａ．晶圆定位；Ｂ．惰性氮气（Ｎ↓［２］）喷入；Ｃ．纯水注入；Ｄ．定速排水与气化异丙醇（ＩＰＡ）喷出；Ｅ．快速排水；Ｆ．干燥；此种干燥方法无污染，能在短时间内干燥半导体晶圆，且由于在干燥过程中异丙醇...

一种半导体扩散炉管清洗机的炉管传动结构，其特点是该传动结构的传动组的动力小齿轮直接传动其所啮合的主动大齿轮，再由该主动大齿轮直接传动其下方两侧所啮合的被动小齿轮，因而传动确实，故障率低，清洗炉管更顺利，亦可提高其使用寿命。

一种气动阀的气动开关，其特点是由前接头、本体座、后接头、阀杆、把手座所组成，不使用弹簧，且前接头、本体座、后接头、阀杆、把手座是利用工程塑胶射出成型，不但生产快速且具有较佳的抗腐蚀性，可提高使用寿命，其阀杆前后位移的动作确实，不会误动，...

本实用新型提供一种干燥气化装置，由文式管、异丙醇或酒精容器及位于其中的气化基座等相互连接组成。流经文式管的高压空气产生的真空吸力将异丙醇或酒精注入所述容器中的预定液面，通入气化基座的隋性氮气作为异丙醇或酒精溶液的搅拌及携载气体使所述溶液...