半导体扩散炉管清洗机的炉管传动结构制造技术

一种半导体扩散炉管清洗机的炉管传动结构，其特点是该传动结构的传动组的动力小齿轮直接传动其所啮合的主动大齿轮，再由该主动大齿轮直接传动其下方两侧所啮合的被动小齿轮，因而传动确实，故障率低，清洗炉管更顺利，亦可提高其使用寿命。（*该技术在2011年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是指一种半导体扩散炉管清洗机的炉管传动结构，其具有故障率低、传动稳定确实，可提高使用寿命的优点。目前习用的半导体扩散炉管清洗机，请配合参考附图说明图1和图2所示，主要是在该清洗机的机体7设有一酸清洗槽71(参考图2)和水洗槽72，分别藉供酸系统(图未示)以及供水系统80注入氢氟酸与硝酸的混合溶液(图未示)以及水(图未示)，并先藉传动结构9传动位于前述酸清洗槽71内的摩擦轮91，令位于各摩擦轮91上方的扩散炉管81可随之转动而进行酸洗，经预定时间后再以人力或机械手将扩散炉管81搬离，再放入水洗槽72内的摩擦轮91的上方，并藉传动结构9传动摩擦轮91，相对令扩散炉管81亦随之转动而达到清洗效果。前述传动结构9主要是藉马达(图未示)的轴心连结链轮(图未示)并啮合链条94，再由该链条94下方两侧与两传动轴951、952所连结的链96、97啮合，且该链条94的一侧亦可受张力调整装置90的控制以调整其张力；经查前述传动结构存在如下缺失1．扩散炉管81相当笨重，在传动作业时由于链条94为塑胶材质(为予防锈蚀且抗强酸，不能采用金属链条)，故其拉力不足容易磨损，故障率高，甚至会导致链条断裂而降低使用寿命，且常常要进行维修而使清洗作业停顿。2．使用一段时间后链条会松弛，故必须将张力调整装置90的调整钮901旋松，然后调整张力链轮98的位置以维持适当的张力，相当麻烦，且加装张力调整装置90亦相对增加构件组合装配的麻烦。本技术的目的在于提供一种半导体扩散炉管清洗机的传动结构，以克服上述已有技术的缺失，使之具有传动确实、故障率低、清洗炉管顺利，使用寿命较长的特点。本技术的目的是这样实现的一种半导体扩散炉管清洗机的炉管传动结构，该清洗机的机体设有一酸清洗槽以及水洗槽，分别藉供酸系统和供水系统注入氢氟酸与硝酸的混合溶液和水，可藉传动结构传动位于前述酸清洗槽内的扩散炉管而进行酸洗，并经预定时间后再以人力或机械手搬离酸清洗槽之后再置入水洗槽内并以传动结构传动扩散炉管转动以实现清洗；前述各传动结构的各构件采用耐酸塑胶材质，并由马达的轴心带动传动组，该传动组分别传动两相距的传动轴，该两传动轴的侧端与轴连器以及锁固元件锁固连结，因而轴连器另一侧锁固的摩擦轮的轴心亦随之转动，该摩擦轮的另一侧轴心亦藉锁固元件与另一轴连器锁固连结，该轴连器另一侧与第三传动轴锁固连结，该第三传动轴的另一侧以锁固元件与另一轴连器连结，而可藉该轴连器另一侧与另一摩擦轮的轴心锁固连结，令该摩擦轮亦被传动而转动，进而令位于前述各摩擦轮之间的上方部位的各扩散炉管可分别转动，其特点在于，该传动结构的传动组包括有一动力小齿轮，其内侧焊设有一轴体，该轴体穿过机体的壁面预设的轴套，并藉锁固元件与轴连器连结，再藉轴连器的另一侧与马达的轴心锁固连结，该动力小齿轮的下方则与主动大齿轮的上方啮合；一主动大齿轮，枢设于机体的壁面预定部位，其上方与动力小齿轮啮合，而其下方两侧则分别与被动小齿轮啮合；两被动小齿轮，分别枢设于机体的壁面的预定部位，分别焊设有轴体，由锁固元件与传动轴锁固连结。本技术的优点是1．传动组的动力小齿轮直接传动其所啮合的主动大齿轮，再由该主动大齿轮直接传动其下方两侧所啮合的被动小齿轮，因此故障率低，可较稳定地藉其轴体所连结的传动轴来连动各摩擦轮上方的扩散炉管，而不会有习用链条传动拉力不足容易磨损甚至断裂情形的产生，相对可令清洗更确实顺利，亦可提高使用寿命。2．马达所传动的动力小齿轮、主动大齿轮、两被动小齿轮是直接相互啮合，使用一段时间后不会松弛，因此亦不会有习用链条传动方式必须常常调整链条的调整操作麻烦的缺失。下面结合实施例及其附图对本技术作进一步说明。图1是习用半导体扩散炉管清洗机的部分立体示意图。图2是习用半导体扩散炉管清洗机的部分传动结构平面示意图。图3是本技术的外观立体图。图4是本技术的部分立体图。图5是本技术的另一角度部分立体图。图6是本技术实施例的另一角度部分立体放大图。图7是本技术实施例其中机体内设置马达部位的部分立体放大图。图8是本技术实施例传动结构的平面示意图。图9是本技术实施例其中扩散炉管设于摩擦轮上方的示意图。图中1-机体 10-壁面11-酸清洗槽 12-水洗槽2-供酸系统 3-供水系统4-传动结构 40-传动组401-动力小齿轮 4011、4031-轴体402-主动大齿轮 403-被动小齿轮41、44-传动轴 42、43、45、48-轴连器420、430、450、491、492-锁固元件461、462-摩擦轮4611、4612-轴心 47-轴套5-扩散炉管 6-马达61-轴心如图3至图8所示，本技术一种半导体扩散炉管清洗机的炉管传动结构，该清洗机的机体1设有一酸清洗槽11和水洗槽12，分别藉供酸系统2和供水系统3注入氢氟酸与硝酸的混合溶液和水，可藉传动结构4(参考图4)传动位于前述酸清洗槽11内的扩散炉管5而进行酸洗，并经预定时间后再以人力或机械手搬离酸清洗槽11之后再置入水洗槽12内并以传动结构4传动扩散炉管5转动以达到清洗效果；且该前述传动结构4的各构件采用耐酸塑胶材质，并藉由马达6的轴心61(参考图7、图8)带动传动组40，令该传动组40可分别传动相距适当距离的传动轴41，再藉该传动轴41的侧端与轴连器42以及锁固元件420锁固连结，进而令轴连器42另一侧锁固的摩擦轮461的轴心4611亦随之转动，且摩擦轮461的另一侧轴心4612亦藉锁固元件430与另一轴连器43锁固连结，藉该轴连器43另一侧可与另一传动轴44锁固连结，并可藉该传动轴44的另一侧以锁固元件450与另一轴连器45连结(请参考图5)，而可藉该轴连器45另一侧与另一摩擦轮462的轴心锁固连结，该摩擦轮462亦可被传动而转动，进而令位于前述各摩擦轮461、462之间的上方部位的各扩散炉管5亦可分别转动(参考图8、图9)；其特征在于该传动结构4的传动组40包括有一动力小齿轮401，其内侧焊设有一轴体4011，该轴体4011穿过机体1的壁面10预设的轴套47，并藉锁固元件491与轴连器48连结，轴连器48的另一侧与马达6的轴心61锁固连结，该动力小齿轮401的下方则与主动大齿轮402的上方啮合；一主动大齿轮402，枢设于机体1的壁面10预定部位，其上方与小齿轮401啮合，而其下方两侧则分别与被动小齿轮403啮合；两被动小齿轮403，分别枢设于机体1的壁面10的预定部位，分别焊设有轴体4031，由锁固元件492与传动轴41锁固连结；当马达6的轴心61转动时，即可藉轴连器48传动动力小齿轮401的轴体4011，该轴体4011所连结的传动小齿轮401可连动其所啮合的主动大齿轮402转动，带动该主动大齿轮402下方两侧所啮合的两被动小齿轮403，而该被动小齿轮403所焊设连结的轴体4031则可分别连动其连结的传动轴41转动。综上所述，本技术具有下列增进功效1．传动组40的动力小齿轮401直接传动所啮合的主动大齿轮402，再由该主动大齿轮402直接传动其下方两侧所啮合的被动小齿轮403，因此故障率低，可较稳定地藉轴体4031所连结的传动轴41来转动各摩擦轮461、462上方的扩散炉管5，而不会有习本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体扩散炉管清洗机的炉管传动结构，该清洗机的机体设有一酸清洗槽以及水洗槽，分别藉供酸系统和供水系统注入氢氟酸与硝酸的混合溶液和水，可藉传动结构传动位于前述酸清洗槽内的扩散炉管而进行酸洗，并经预定时间后再以人力或机械手搬离酸清洗槽之后再置入水洗槽内并以传动结构传动扩散炉管转动以实现清洗；前述各传动结构的各构件采用耐酸塑胶材质，并由马达的轴心带动传动组，令该传动组分别传动两相距的传动轴，该两传动轴的侧端与轴连器以及锁固元件锁固连结，因而轴连器另一侧锁固的摩擦轮的轴心亦随之转动，该摩擦轮的另一侧轴心亦藉锁固元件与另一轴连器锁固连结，该轴连器另一侧与第三传动轴锁固连结，该第三传动轴的另一侧以锁固元件与另一轴连器连结，而可藉该轴连器另一侧与另一摩擦轮的轴心锁固连结，令该摩擦轮亦被传动而转动，进而令位于前述各摩擦轮之间的上方部位的各扩散炉管可分别转动，其特征在于，该传动结构的传动组包括有：一动力小齿轮，其内侧焊设有一轴体，该轴体穿过机体的壁面预设的轴套，并藉锁固元件与轴连器连结，再藉轴连器的另一侧与马达的轴心锁固连结，该动力小齿轮的下方则与主动大齿 轮的上方啮合；一主动大齿轮，枢设于机体的壁面预定部位，其上方与动力小齿轮啮合，而其下方两侧则分别与被动小齿轮啮合；两被动小齿轮，分别枢设于机体的壁面的预定部位，分别焊设有轴体，由锁固元件与传动轴锁固连结。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：贺贵虎，
申请(专利权)人：集贤实业有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]