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一种半导体扩散炉管清洗机的炉管传动结构，其特点是该传动结构的传动组的动力小齿轮直接传动其所啮合的主动大齿轮，再由该主动大齿轮直接传动其下方两侧所啮合的被动小齿轮，因而传动确实，故障率低，清洗炉管更顺利，亦可提高其使用寿命。...
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