本发明公开了一种使结晶系硅基板的受光面粗糙化的太阳能电池制造方法，包括：多个基板装载于载体，以形成有多个通孔的覆盖板覆盖装载于所述载体的基板之后，所述载体搭载于载体支撑部，实施干蚀刻，在所述基板的受光面形成多个微突起。

本发明涉及一种太阳能电池制造装置，包括：真空腔室，形成有腔门；载体支撑部，设置于所述真空腔室，搭载有载体，该载体装载多个结晶系硅基板；气体喷射部，设置于所述载体支撑部上侧，用于喷射气体；电源施加部，施加电源使真空腔室内产生等离子，其特征...

本发明涉及太阳能电池制造方法，所述的制造方法包括：SDR步骤，从硅锭切割的多晶硅基板的表面去除表面损伤；表面粗化(Texturing)步骤，所述的SDR步骤之后，在基板的受光面上形成多个微突起。