本发明涉及一种成膜装置及其方法，该装置主要包括腔室、电场产生模块、磁场产生模块、加热模块、处理气体供应模块及主控制器。主控制器控制处理气体供应模块导入处理气体至腔室、控制加热模块加热成膜材料粒子移动空间、控制电场产生模块的上部电极与下部...