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晶圆光学检测方法及晶圆光学检测装置制造方法及图纸

一种晶圆光学检测方法及晶圆光学检测装置，用于检测晶圆是否有瑕疵，晶圆包括n个晶粒，该方法包括下列步骤：由n个晶粒中选择两邻近晶粒；取得两邻近晶粒的光学影像；比对两邻近晶粒的两光学影像是否有不一致的瑕疵；以及，若是，判定晶圆具有瑕疵。

最后更新日期：2024-02-26 19:28 访问量：7