本实用新型属于半导体生产领域，具体为一种半导体生产的除脂装置，包括清洗机构、移动机构、还包括便于对不同规格半导体在清洗过程中进行翻转冲洗的除脂机构，所述清洗机构外侧设置有所述移动机构，所述移动机构上方设置有所述除脂机构。本实用新型采用除...

本实用新型属于半导体制造技术领域，具体为用于半导体制造的光刻装置，包括底座，所述底座上方的一侧设置有电动推杆，所述电动推杆前后均设置有第一限位板，所述电动推杆伸缩端设置有第一推板，所述底座上方的另一侧设置有导筒，所述导筒内设置有夹杆，所...