本发明涉及晶圆检测系统及检测方法。晶圆检测系统可以包括：样品台；光源系统；第一入射部；非相干光探测部，其包括：物镜、第一非相干光探测部，其用于探测第一光信号并输出第一电信号；第二非相干光探测部，其用于探测第二光信号并输出第二电信号；第三...

本发明涉及晶圆检测系统及检测方法。晶圆检测系统可以包括：样品台；光源；入射部，其包括第一微分干涉棱镜，其布置于光源和晶圆之间，用于将从光源发射的激光在空间上分束成具有夹角的两束激光，以照射晶圆；非相干光探测部，其包括：物镜，其用于接收由...

本发明涉及晶圆检测系统及检测方法。晶圆检测系统可以包括：光源系统，其包括第二光源和第一光源；显微成像系统，其用于对经由晶圆反射或透射的光进行成像；图像获取单元，其包括第一成像元件和第二成像元件，用于对经由显微成像系统所成的像进行处理；起...

本发明涉及一种晶圆检测系统及检测方法。晶圆检测系统可以包括：样品台，其用于放置晶圆；光源，其用于照射晶圆；显微成像系统，其设置于样品台的上方，用于对经由晶圆的第一表面和第二表面的缺陷散射的来自光源的光进行聚焦；以及图像获取单元，其包括第...