本发明公开了一种可扩展连接多台光刻机的涂胶显影设备，涉及晶圆涂胶显影技术领域，包括涂胶显影机，涂胶显影机内部设有多个显影单元，每个显影单元包括腔体基座和旋转卡盘组件，旋转卡盘组件包含晶圆承载台、旋转冷却体、驱动电机及固定冷却体，旋转冷却...