本发明涉及联轴器检测技术领域，公开了一种联轴器运行状态实时检测系统。该系统包括多源传感数据采集装置、动态特征提取引擎、边缘计算节点、云端协同分析平台及状态决策中枢。多源传感装置通过分布式传感器阵列，同步捕获联轴器轴向振动波形、径向温度梯...

本发明公开了用于远程等离子体源环形石英腔体生产的精准温控系统，本发明涉及环形石英腔体生产技术领域。该用于远程等离子体源环形石英腔体生产的精准温控系统，通过周向若干个独立温控分区跟随热源动态移动，以径向分层与加工深度精准适配的方式，构建周...

本发明公开了适配铝镁钛合金微弧氧化的分级电压控制方法及装置，涉及铝镁钛合金微弧氧化的分级电压控制技术领域，包括：根据铝镁钛合金微弧氧化过程的电压时间序列与电流时间序列构建放电事件能量集合，计算热负载代理量与热失配指数序列；确定安全阈值与...

本发明公开了匹配网络校准技术领域内的一种阻抗匹配网络的自动校准方法，包括以下步骤：系统初始化；上位机选取覆盖匹配网络工作范围内频率维度、功率维度、负载阻抗维度的校准点；控制射频信号源及负载模拟器遍历所有校准点的三维组合，同步采集外界传感...

本发明属于射频功率源技术领域，提供了一种高频脉冲分层自适应学习控制方法及系统，其中方法包括：基于实际输出与参考脉冲信号的期望输出，获取跟踪误差；将跟踪误差按照波形进行分割，划分为平稳段和过渡段；对平稳段和过渡段采用差异化ILC更新律，分...

本发明公开了一种射频匹配器的阻抗范围自动校准方法，首先利用符合设计标准的标准匹配器，在输入端接标准负载、输出端接网络分析仪的连接方式及网络分析仪特定配置下，驱动其可变电容进行扫描并记录阻抗数据，建立标准阻抗范围数据库；随后以相同连接方式...

本发明涉及电力电子控制技术领域，公开了基于微分控制调节的电容系统控制方法。该方法利用多圈绝对值编码器实时采集步进电机旋转角度数据，生成包含圈数计数及当前角度值的编码器信号。将该信号与预设目标角度值进行微分误差计算，从而得到角度偏差量及圈...

本发明公开了一种具有脉冲同步功能的多频匹配系统及方法，包括：中央控制单元、脉冲同步模块、射频电源、频率通道、检测模块；所述中央控制单元与所述脉冲同步模块和所述检测模块通信连接；所述脉冲同步模块与所述射频电源连接；所述射频电源与所述频率通...

本发明公开了一种用于监测及调节等离子负载阻抗的装置，包括阻抗监测及调节装置，以及顺次连接的射频电源、匹配器和等离子体负载，阻抗监测及调节装置包括阻抗监测模块、可调阻抗网络以及控制模块，阻抗监测模块用于实时监测等离子体负载的阻抗值ZL；可...

本发明属于等离子体源设备技术领域，具体涉及一种等离子体源预处理装置。本发明包括：等离子体源，设有进气口和出气口，进气口通入前驱体和反应气体；颗粒收集罐，包括收集罐进气口和收集罐出气口，收集罐进气口与出气口连通；真空泵，其通过排气管与收集...

本发明属于射频功放连接器技术领域，提供了一种用于射频功放输出模块的排针连接器，包括配合设置的排母和排针；排母包括容置腔和至少两个弹性件，弹性件对应设置于容置腔内，弹性件一体形成有凸起段，凸起段之间的最小间距小于排针的外径；当排针和排母装...

本发明属于电容控制技术领域，具体涉及一种可调电容校准方法及校准装置。校准方法包括将电容总行程划分为若干区间点位，上电并控制电容旋转至第0点；测量当前点位的电容值；将输入的电容值与目标电容表格对照计算得出偏差值；判断偏差值是否小于目标误差...

本发明公开了双频射频匹配器测试技术领域内的一种用于双频射频匹配器的测试负载装置，包括选频网络和两个单频负载；选频网络具有一个输入端和两个输出端，输入端用以连接双频射频匹配器的任一输出端，两个输出端分别连接不同频率的单频负载；选频网络用以...

本发明公开了一种射频匹配器控制终端，包括按键模组、显示模组、ADC采样模组、模拟接口、MCU控制模组、DAC输出模组、数字接口；按键模组用于接收菜单选择、确认及功能切换；显示模组用于显示菜单内容及对应参数信息；所述ADC采样模组用于采集...

本发明公开了阳极氧化膜生产全生命周期质量管理方法及系统，涉及氧化膜生产质量管理技术领域，该方法包括：在耐等离子阳极氧化部件完成封孔处理后，得到终端质检数据集；调取生产数据指纹；依据生产数据指纹进行根因挖掘，输出等离子失效关联工艺异常因子...

本发明属于射频技术领域，提供了一种应用于射频电源的高功率合路器，包括：第一级合路，包括若干个射频输入端口和匹配网络，射频输入端口和匹配网络连接，匹配网络中的电感和电容通过导带微带线结构电连接，第一级合路之间输出信号的幅度和相位均一致；第...

本发明属于射频电源控制技术领域，提供了一种射频电源功率输出控制方法及装置。其中方法包括：同步采集负载端电压信号和电流信号；基于时域算法，通过过零点检测计算相位差，结合峰值检测输出动态功率P1；及基于频域算法，通过FFT变换和相位修正计算...

本发明公开了一种等离子体发生器电源控制系统，涉及电源控制技术领域，包括三个核心模块：数据采集预处理模块实时采集阀芯位置与电弧形状数据，经图像算法处理得到电弧轮廓并预处理；阀芯滑动卡阻分析模块通过时序分析得到滑动异常系数，据此判断卡阻情况...

本发明公开了一种射频电源用顶升调节设备，包括提升调节机构和旋转预调机构，所述旋转预调机构安装于提升调节机构的前部，本发明涉及射频电源技术领域。该射频电源用顶升调节设备，通过提升调节机构和旋转预调机构将组合式的使用，这两个机构的设置，能够...

本申请提供了等离子体环境适应性的环形石英腔体表面处理方法及系统，涉及表面处理技术领域，所述方法包括：基于数控铣削对环形石英腔体表面加工处理，执行图像采集；利用腔体表面图像进行粒度分区，顺序执行三阶段激光扫描处理，记录环形石英腔体的表面状...