本发明属于等离子体源设备技术领域，具体涉及一种等离子体源预处理装置的反应物检测方法。本发明包括采集不同含量的前驱体以及不同浓度的残余气体的红外光谱，建立对应的红外光谱数据库；对红外光谱数据库进行预处理，得到标定红外光谱数据库；采对标定红...

本发明公开了多光谱融合的等离子体刻蚀台异常放电诊断方法及装置，涉及等离子体刻蚀技术领域，该方法包括：随等离子体刻蚀工艺进程使用微型光谱探头进行关键位置的光谱探测，获取多光谱数据，并通过熵态检测组件进行熵场转换和熵变分析，确定第一检测结果...

本发明公开了等离子体源技术领域内的一种基于交错并联电路的等离子体源控制系统，包括依次连接的交错并联电路、E类放大器、定向耦合器和反应腔体，及均流电路、控制单元及PWM调节器；均流电路采样交错并联电路的两相电感电流进行均流处理；控制单元内...

本发明属于半导体制造技术领域，提供了一种等离子体电源的阻抗和功率匹配方法及装置，方法包括：基于k+1时刻的等离子体功率和谐振变换器输入阻抗，构建代价函数，代价函数为；判断是否存在角开关频率使得F=0，则计算出对应的最优开关频率；判断代价...

本发明公开了一种分体式混频功分自动匹配系统及方法，包括频率自动匹配单元、混频功分单元和总线通讯模块；频率自动匹配单元包括至少两个频率匹配器，用于分别对至少两路不同频率的射频功率进行阻抗调节；混频功分单元与频率自动匹配单元信号连接，用于接...

本发明属于等离子体源技术领域，提供了一种等离子体源功率电路、控制方法及装置，功率电路包括准Z源变换器和全桥逆变电路，准Z源变换器连接直流电源，在直通状态和非直通状态之间切换；当准Z源变换器处于直通状态时，全桥逆变电路的负载侧被短接；当准...

本发明属于等离子体源设备技术领域，具体涉及一种等离子体源预处理装置及反应物检测方法。本发明包括：等离子体源，设有进气口和出气口，进气口通入前驱体和反应气体；颗粒收集罐；真空泵；加热系统；等离子体源包括：环形腔体，两组磁芯，分别设在环形腔...

本发明公开了等离子体源技术领域内的一种基于频率簇的等离子体源的控制系统及方法。该控制系统的控制单元内置LSF负载阻抗预测模型和频率簇调制模块，控制PWM驱动单元输出脉冲信号；维持电路用于进入恒功率阶段后维持母线电压稳定；采样单元采集谐振...