本发明的目的在于提供一种晶片探测器，它重量轻、热响应动力学极佳且在受到探测卡的挤压时没有翘曲，因而能有效地保护它防止对硅晶片的损坏和测量误差。本发明涉及一种陶瓷基底的表面上形成有导体层的晶片探测器。

本发明的目的在于提供一种晶片探测器，它重量轻、热响应动力学极佳且在受到探测卡的挤压时没有翘曲，因而能有效地保护它防止对硅晶片的损坏和测量误差。本发明涉及一种陶瓷基底的表面上形成有导体层的晶片探测器。

本发明目的是提供一种能保持１０＃＋［８］Ω.ｃｍ或更大的体积电阻率的氮化铝烧结体，能保证覆盖能力，大的辐射热量和用温度显示器测定时的准确度。本发明的含碳氮化铝烧结体在其氮化铝构成的基体中包含在Ｘ射线衍射图中检测不到峰或其峰低于检测下限的碳。

一种含碳的氮化铝烧结体，包括氮化铝基体和包含在其中的峰在激光拉曼光谱分析的１５８０ｃｍ＃＋［－１］和１３５５ｃｍ＃＋［－１］的碳。含碳的氮化铝烧结体由于在２００℃或更高温度范围（例如５００℃或更高）具有至少１×１０＃＋［８］Ω.ｃｍ高体...

本发明目的是提供一种能保持１０↑［８］Ω.ｃｍ或更大的体积电阻率的氮化铝烧结体，能保证覆盖能力，大的辐射热量和用温度显示器测定时的准确度。本发明的含碳氮化铝烧结体在其氮化铝构成的基体中包含在Ｘ射线衍射图中检测不到峰或其峰低于检测下限的碳。