本发明公开的一种硅料清洗工艺，涉及光伏行业或半导体技术领域，其工艺流程包括：预清洗，碱清洗，超声清洗，碱腐蚀，腐蚀清洗，甩干和烘干；具有既能减少返工率，又能提高产品品质，且对生产环境没有影响等特点，适用于光伏行业或半导体技术领域中硅料的...