本发明公开了一种钴酸锂靶材及其制备方法，该靶材的纯度大于等于99.9%、相对密度大于等于98%、平均晶粒尺寸小于等于50微米。该靶材制备方法包括以下步骤：（1）提供钴酸锂粉末，并将其液压成型为坯件；（2）对所述的坯件进行冷等静压加工；（...

本发明公开了一种镍酸锂靶材及其制备方法，该靶材的纯度为大于等于99.9%、相对密度大于等于98%、平均晶粒尺寸小于等于50微米；该靶材的制备方法包括以下步骤：（1）提供镍酸锂粉末，并将其液压成型为坯件；（2）对所述的坯件进行冷等静压加工...

本发明涉及一种全固态薄膜锂离子电池负极及其制备方法，全固态薄膜锂离子电池负极包括电极基片、覆盖在电极基片表面的负极薄膜，特别是，所述的负极薄膜为通过射频磁控溅射方法形成的纳米碳薄膜。本发明采用纳米碳薄膜作为负极薄膜，其具有非常高的质量比...

本发明涉及一种全固态薄膜锂离子电池用电解质薄膜的制备方法，电解质薄膜为非晶无定形态的锂磷氧氮薄膜，该制备方法采用射频磁控溅射方法。本发明方法制备的LiPON薄膜为非晶无定形态，离子电导率大于2×10‑6S/cm，并且具有热力学稳定性好和...

本发明涉及全固态薄膜锂离子电池相关靶材及其制造方法。该方法主要包括选料、烧结前处理、热压烧结、靶材后处理等步骤组成，可以制造的靶材有：LiCoO2、LiFePO4、Li3PO4等。该方法使用石墨模具，用钼箔做模具与靶材的隔离材料，上下表...