本发明公开了一种金属基杂化型光刻胶及其制备方法，通过气相沉积方法在衬底表面循环沉积金属前驱体和内酯型环状分子前驱体，由金属前驱体和内酯型环状分子前驱体反应得到金属基杂化型光刻胶薄膜。本发明金属基杂化型光刻胶包括由金属元素与内酯型环状分子...