本发明涉及一种硅单晶衬底材料抛光液及其制备方法，其特征是所述抛光液配制成分和重量％比组成如下：磨料：１－９５；ＦＡ／ＯｐＨ调节剂：０．５－１０；醚醇类活性剂：０．５－１；去离子水：余量。按上述成分配比分别制成粗抛液和精抛液。该抛光液选用...

本发明公开了一种化学作用强、去除速率快、无污染、无划伤、易清洗且成本低的超大规模集成电路多层铝布线碱性抛光液。抛光液成分和重量％比组成如下：ｐＨ值调节剂１－１０、硅溶胶１０－９０、表面活性剂０．５－５、氧化剂０．５－５、去离子水为余量。...

本发明公开了一种硅磨片清洗剂，旨在提供一种使用胺碱与非离子表面活性剂的混合溶液来替代现在广泛采用的ＲＣＡ清洗，来实现现在大规模集成电路对硅磨片的表面洁净度的要求。按体积百分比由下述组分组成：胺碱２０～７０％，ＪＦＣ５～４０％，非离子表面...

本发明公开了一种利用电化学作用去除集成电路晶片表面污染物的方法，提供一种利用金刚石膜结构和能够起到去除集成电路晶片表面残留有机物、颗粒以及金属离子的清洗剂的结合，能够达到较好的清洗效果，而且工艺简单，操作方便，满足环保要求的去除集成电路...

本发明公开了一种控制和消除硅气相外延层雾状微缺陷的方法，旨在提供一种有效消除雾状微缺陷，而且不增加成本以及工艺和设备的复杂性的控制硅气相外延层雾状微缺陷的方法。包括下述步骤：采用常规的化学机械抛光方法对硅衬底片进行双面抛光处理和清洗，在...

本发明涉及提高Ｐ型硅外延电阻率一致性的控制方法，其步骤如下：（１）硅片抛光清洗后进行背封，即浸泡于含有双氧水或臭氧的纯水中，使硅片表面生成洁净氧化层；（２）外延前提高赶气温度８０－１２０℃，迅速改变气体流速，反复变化４－１２个周期，使滞...

本发明涉及一种提高硅单晶衬底片表面完美性的工艺控制方法，其实施步骤是：（１）在硅片抛光清洗后对其表面进行氧化处理，即在硅片抛光清洗后浸泡于含有双氧水或臭氧的纯水中，使硅片表面生成３－５ｎｍ的洁净氧化层，将硅片表面封闭，有效保护防沾污；（...

本发明涉及一种超大规模集成电路多层布线ＳｉＯ↓［２］介质的纳米ＳｉＯ↓［２］磨料抛光液。该抛光液的组分及重量％如下：磨料：二氧化硅水溶胶固含量：２０－４５，复合碱：０．５－５．５，渗透剂：１．０－１０，表面活性剂：１．０－１０，螯合剂：...

本发明一种微电子专用螯合剂的使用方法，旨在提供一种能够有效去除金属离子，满足对基材表面金属离子的要求的微电子专用螯合剂的使用方法。在常用抛光液中按体积百分比加入０．１－３％的微电子专用螯合剂二乙二胺四乙酸四羟基乙基乙二胺盐，如果抛光液为...

一种无弧分断可通讯接触器，其主要技术特征是它由交流接触器ＣＪ与控制箱内的电路连接而成，控制箱内的电路包括电流检测电路、单片机主控电路、通讯接口、执行电路、执行单元、稳压电源、ＰＴＣ控制电路。ＰＴＣ控制电路和执行单元分别与接触器的触头端子...

本实用新型涉及一种漏电保护器可靠性试验装置，由试验控制柜，试品柜，带有移出式操作机构的调温调湿箱组成；试验控制柜包括工业控制用计算机和触头状态检测电路以及漏电电流调节电路；试品柜包括漏电保护器试品、试品手柄操作机构和手柄合／分闸驱动电路...

一种漏电开关手柄、试验及复位按钮电动操作器，主要由手柄合／分闸到位信号检测线路、微机主控电路、试品卡具、手柄电动操作机械手、试验按钮电动操作机构及复位按钮电动操作机构组成。本实用新型可以很好的模拟人手操作漏电开关手柄、试验及复位按钮的动...

小型断路器手柄电动分合器，属于对电器产品进行试验检测的电动操作机构。主要解决小型断路器试验效率低、劳动强度大、威胁人身安全、可靠性差的问题。其结构主要由合／分闸到位信号检测线路、微机主控电路、正反转电机、电机刹车机构、试品卡兰及机械手（...

触点动态接触电阻测试装置及测试方法，属于低压电器产品触点的动态接触电阻测试装置和测试方法。本发明解决了动态接触电阻的精确测试问题，它包括触点动态接触电阻测试电路、试品驱动控制电路、调温调湿箱和工业控制用计算机，其连接方式是：工业控制用计...

本发明低压开关电器用银基稀土合金触头材料及其制备方法，涉及银基稀土合金电开关触点材料，其化学组成为：稀土金属氧化物ｘ＝１～７％、Ｍｅ的氧化物ｙ＝１～３％、ＳｎＯ↓［２］ｚ＝（１２－ｘ－ｙ）％、余量为金属银，其中，稀土金属为Ｌａ、Ｃｅ、Ｐ...

本发明Ｓｍ（Ｃｏ，Ｍ）↓［７］型合金薄带磁体的制备方法属于含稀土金属和磁性过渡金属的硬磁材料的磁体技术领域，包括：把组成式表示为ＳｍＣｏ↓［７－ｘ］Ｍ↓［ｘ］（ＣＮＴ）↓［ｙ］的熔体，该式中Ｍ为Ｈｆ、Ｇａ或Ｓｉ，ＣＮＴ为碳纳米管，限定组...

本发明钐铁氮－铁铂双相纳米磁性材料及其制备方法涉及按其矫顽力区分的无机材料磁体，该材料的组成为Ｓｍ↓［２］Ｆｅ↓［１７］Ｎ↓［３］－Ｆｅ↓［３］Ｐｔ，晶粒尺寸ｄ≤３０ｎｍ，基体相是硬磁性相２∶１７型稀土铁氮化物，它的易轴是取向的，软磁性...

本发明一种纳米软磁锰锌铁氧体的制备方法属于铁氧体磁性材料技术领域，操作步骤如下：第一步，锰锌铁氧体纳米粉体的制备；第二步，压制成环型素坯；第三步，烧结制成产品，将第二步制得的成型素坯放入管式电阻炉内，在氮气保护下将温度从室温以５℃／分钟...

聚吡咯／炭黑纳米复合材料及其制备方法，属于用原位吸附聚合工艺，制备聚吡咯／无机复合材料技术，特别涉及聚吡咯／炭黑纳米复合材料及其制备技术。本发明克服了电解法中产品与电极剥离困难，不适宜大批量工业生产的问题，简化了目前原位吸附法的聚合工艺...

一种浮秤实验仪，其主要技术特征是，在透明箱体中装着两个连通的水槽，一个水槽上方悬挂着浮筒，另一个水槽上方悬挂着模拟体。浮筒上放着模拟晶体。箱体内的上方装着转动提拉系统，绕过转动系统滑轮的拉绳一端连接着卡头，另一端连接着模拟体。其上有应变...