一种基于双导轨双驱的三节拍双工件台交换装置与方法，属于半导体制造装备技术领域，该系统包括运行于预对准工位和曝光工位的工件台，在预对准工位和曝光工位分别设置一个井型驱动单元，井型驱动单元由双侧X向直线运动单元和双侧Y向直线运动单元组成，且...

光刻机工件台磁预紧平衡定位系统属于半导体光刻技术领域；该系统主要包括基台、平衡质量系统、磁预紧系统、运动单元、硅片台、平衡质量防漂移系统，平衡质量系统由两个互相嵌套的框架组成，具有X、Y方向自由度，上部建有运动单元，利用动量守恒原理削弱...

光刻机工件台陀螺进动式主动稳定装置属于半导体光学光刻制造技术；在基台上安装可平行移动的平衡质量块，在平衡质量块沿X轴两侧对称部位上分别安装X向第一和第二直线电机定子，X向第一和第二直线电机动子分别气浮安装在X向第一和第二直线电机定子上，...

过梁式单/双导轨双驱步进扫描双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备；该系统含有设置在同一基台上的运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，基台边缘设置有4个Y方向直线运动单元和2个X方向直线运动单元，基台中间设置有2个X方向高...

一种基于测量位自转调向的双工件台回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术领域，该装置包含一个回转换台装置，其机械结构包括设置于基台之下的旋转电机定子、贯穿基台的旋转电机动子、嵌入基台内的轴套以及硅片台转接装置，该回转换台装置实现光刻机硅...

空间充气结构地面展开性能测试系统。它涉及一种充气结构地面展开性能测试系统。解决现有空间充气结构展开过程随机性较大而不易试验测试评价的问题。本发明的测试系统由冲击力测试模块和充气控制模块组成，其中冲击力测试模块包括三轴压电型加速度传感器、...

基于QPSK调制和互补码的无多径无多址干扰的扩频通信方法，涉及一种扩频通信方法，为了解决目前CDMA系统受到多址干扰和多径干扰的问题。它包括如下步骤：步骤一：在发送端，利用M个子码以并行的方式对第k个用户的数据进行扩频；步骤二：在发送端...

一种有机硅树脂/磷酸盐复合胶黏剂及其制备方法，它涉及一种磷酸盐胶黏剂及其制备方法。本发明要解决现有技术制备的磷酸盐胶黏剂存在剪切强度低的问题。本发明的有机硅树脂/磷酸盐复合胶黏剂是由甲组分和乙组分(固化剂)混合制成；甲组分由甲基硅树脂乳...

本发明的是为了解决目前微胶囊化粉末油脂生产工艺复杂、生产成本高，生产过程中需要添加大量的食品添加剂的问题而提供一种应用超高压微射流法制备淀粉基粉末油脂的方法，具体过程为将油脂与去离子水制备成乳化液、将淀粉添加到乳化液中搅拌混合制备淀粉悬...

WLAN环境下改进GA优化的ANFIS室内定位方法，涉及一种模式识别和人工智能领域中的室内定位方法，具体涉及基于改进遗传算法优化的WLAN室内ANFIS定位方法，解决了BP算法的收敛速度慢，容易陷入局部极小的问题和遗传算法中的早熟、进化...

Ni-Co-C合金代硬铬镀层的电沉积制备方法，它涉及Ni-Co-C合金代硬铬镀层的制备方法。方法1：取镍盐、钴盐、NiCl2·6H2O、硼酸、柠檬酸铵、含碳化合物、NI3#快速高整平镀镍光泽剂A剂、应力消除剂；配置镀液；镀件进行电镀。方...

一种探测器嵌入式自主故障监测与异常数据记录装置，它涉及探测器安全监测技术领域，以解决目前空间、海洋探测器尚无法完成自主监测与记录异常状况同时实现的问题。数据预处理函数模块，用于进行测量数据的集成数据预处理，从而生成供典型探测器系统模型模...

基于时间数字转换器的锂电池电流检测电路及检测方法，涉及锂电池电流检测电路及检测方法。它解决了现有锂电池电流检测电路的检测速度低、检测电路复杂的问题，本发明基于TDC的电流检测电路中的斜坡信号发生器的输出和敏感电阻两端的电压连接到充放电比...

本发明提供一种实时击键压力采集系统。它是由压力传感器和接口电路组成的，压力传感器连接接口电路，压力传感器使用四个应变片组成一个惠斯通全桥电路，将电阻的变化转换为电压的变化再进行采集；压力传感器安装在标准键盘的底部，包括键帽和回弹装置，接...

基于互补码的双天线多载波MIMO系统，涉及一种基于互补码的双天线多载波通信系统。它解决了采用现有编码方式的MIMO系统的抗多用户干扰性能差、抗多径干扰性能差、抗多普勒效应能力差的问题。它的信号发射过程采用互补码进行扩频，并采用多载波系统...

绿色发电机。它涉及一种发电机。它解决了现有发电机能量消耗大的问题。它包括能量分离机(1)、沸腾蒸发器(2)、贮液罐(3)、涡轮发电机机组(4)和低沸点物质；能量分离机(1)的电能输入端连接电源，能量分离机(1)的热能输出端连接沸腾蒸发器...

一种可刚化充气展开桁架结构支撑管端盖。本发明涉及一种充气展开桁架结构支撑管端盖。为了解决现有可刚化充气展开桁架结构中的可刚化充气展开支撑管之间的连接受结构限制，紧固性差，且密封效果不好的问题。方案一：端盖基板和环形凸台一体加工而成，端盖...

一种方便宇航员在轨组装操作的组装式桁架连接件。本发明涉及一种在轨组装操作的组装式桁架连接件。为解决无便于宇航员在轨组装、同时利于提高桁架结构的可靠性和连接刚度的组装式桁架连接件问题。一：长方体连接件的第三侧面上设有凸台，第四侧面上设有凹...

一种三维充气展开桁架结构的展开控制装置。本发明涉及一种三维桁架结构的展开控制装置。为解决截至目前为止无三维桁架结构的展开控制装置问题。折叠装载箱的后侧壁为充气展开桁架的固定端，折叠装载箱的左、右侧壁的内表面上各分别安装有四列弹簧片阵列，...

一种Mg-Gd-Y-Zn-Zr系合金大型铸锭及其制备方法，它涉及一种镁合金及其制备方法。本发明要解决现有技术制备的超高强镁合金的铸锭尺寸小的问题。本发明镁合金铸锭是由Gd、Y、Zn、Zr和Mg制备而成。方法：首先按质量分数配比材料，其次...