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股份公司LINTECH专利技术
股份公司LINTECH共有2项专利
在坩埚内部形成排氧通道的多晶硅锭制备方法技术
本发明涉及通过单晶棒或多晶棒在坩埚内部形成排氧通道的多晶硅锭制备方法,包括如下步骤:制备硅方柱;根据坩埚形状来使单晶方柱或多晶方柱与坩埚的内周面相邻配置,以此在由单晶方柱或多晶方柱包围的空间内部形成能够装入大块的空间部,以在单晶方柱或多...
使用硅粉和高频加热装置的硅部件的接合方法制造方法及图纸
本发明涉及一种使用硅粉和高频加热装置的硅部件的接合方法,本发明的特征在于,包括如下的步骤,即,在下部环和上部环的接合面形成结合凹凸结构;将上述下部环和上部环装配在硅部件接合装置;向下部环和上部环的接合面的结合凹凸结构放入单晶硅粉末;以及...
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