本发明公开了一种非晶氧化镓薄膜及其制备方法与应用，属于氧化镓薄膜技术领域。该非晶氧化镓薄膜的制备包括以下步骤：将金属有机源和氧源通过金属有机物化学气相沉积方法沉积于基底表面以在基底表面形成非晶氧化镓薄膜。该方法简单，易操作，重复性好，适...

本申请涉及一种离子源、离子注入装置和离子注入方法。离子源包括壳体、电子枪、电子接收极、含硒固体源、激光器和离子引出极，壳体具有电离室，电子枪和电子接收极设于电离室内，沿第一方向相对且间隔设置。含硒固体源设于电离室内，且具有第一侧壁，激光...