广东省新兴激光等离子体技术研究院专利技术

广东省新兴激光等离子体技术研究院共有51项专利

  • 本申请提供涉及一种辅助对接装置、放射治疗设备及其控制方法;所述辅助对接装置,包括:设于放射束源的电子输出端部的输出接口,设于引导部件的输入端部的输入接口,以及设于所述输出接口与输入接口上的磁极耦合装置;在所述输出接口与输入接口对接时,将...
  • 本申请提供一种方形MPCVD谐振腔体及MPCVD设备,采用了活动式设计的四个侧面板,各个侧面板在上腔盖与底板结构之间进行伸展或收缩移动来改变谐振腔体的边长,可以使谐振腔体中心区域聚焦更多微波模式,通过调节侧面板的边长来改变沉积区域上方电...
  • 本技术公开了一种束流强度调节装置,包括调节组件以及驱动组件,调节组件包括安装架、两个调节芯以及两个调节座,调节芯可转动地连接于调节座;调节芯的周向上设有若干个调节部,两个调节芯的调节部用于在转动后相互配合形成为束流孔;至少一个调节座可浮...
  • 本申请涉及一种离子注入机控制系统以及离子注入机,包括:上位机、下位机、气体流量控制器以及传感器系统;其中传感器系统设于离子注入机上,气体流量控制器连接在离子注入机的离子源的进气管道上,下位机连接各个气体流量控制器以及传感器系统;传感器系...
  • 本申请涉及一种离子注入机的控制方法、装置、计算机设备及计算机可读存储介质;所述方法包括:获取离子注入机输出的期望束流参数,检测离子注入机当前运行状态的初始状态数据;利用期望束流参数和初始状态数据输入预测神经网络计算初始进气比例调节离子源...
  • 本发明涉及放射治疗技术领域,具体公开了一种进行射线发射的自动控制装置、方法及系统,通过将束流针和放疗针进行非物理连接,并在监测到束流针与放疗针之间的相位位置满足射线发射条件时,控制射线源向放疗部位发射射线并通过束流针,经过空气,再经过放...
  • 本申请提供一种MPCVD谐振腔体、MPCVD设备及其应用方法,所述腔体包括:固定结构设计的上盖和腔体底座,以及多种规格参数的可替换的腔壁结构;上盖上固定设有进气口;腔体底座固定设有微波馈入口、沉积基台和出气口;腔壁结构上下表面上分别设有...
  • 本申请提供一种激光光束分束器及其应用方法,所述激光光束分束器包括:屏蔽腔以及内置于屏蔽腔中的分束器;其中,屏蔽腔为内部空腔结构;屏蔽腔用于屏蔽腔体内部与外部环境热交换;屏蔽腔侧面上设有入射光孔和出射光孔;入射光孔上安装有入射光光阑,用于...
  • 本技术属于薄膜辐照技术领域。本技术公开了一种大面积薄膜辐照卷绕装置,包括卷绕组件,卷绕组件包括:放卷辊;收卷辊;至少两个引导辊;至少两个引导辊之间的薄膜形成辐照平面,辐照平面用于对准重离子轰击口;至少一个压紧结构,压紧结构靠近收卷辊设置...
  • 本技术属于加速器领域,公开了一种具有预分析结构的低能注入器,包括:机壳,机壳的内腔分隔为前后设置的两个腔室,分别为第一腔室以及第二腔室,第一腔室与第二腔室之间设置有用于离子通过的第一通孔;离子源;加速管;单透镜组件,单透镜组件上设置有用...
  • 本申请涉及一种真空腔体及真空镀膜机,真空腔体包括:腔室结构,以及设于腔室结构上的多个抽气口;抽气口分布设置在腔室结构上的一竖直切面平面周围;抽气口连接至真空泵,通过真空泵对腔室结构进行抽真空;各个抽气口在控制下以设定的抽气速率进行抽真空...
  • 本申请提供一种基于空间多焦点的激光消融装置及基于空间多焦点的激光消融诊疗一体化装置;所述激光消融装置包括:依次通过光路连接的治疗激光模块、分光模块、光调制模块、光纤耦合模块、光纤阵列、聚焦微透镜阵列;治疗激光模块用于发射治疗激光;分光模...
  • 本申请提供一种基于空间多焦点的激光诊断装置及激光诊疗装置,所述激光诊断装置包括:依次通过光路连接的诊断激光模块、光偏转模块、光纤耦合模块、光纤阵列以及聚焦微透镜阵列;其中光纤耦合模块与光纤阵列中每条光纤支路独立连接,每条光纤支路连接所述...
  • 本申请提供一种基于MPCVD的谐振腔体、MPCVD装置及其应用方法,该谐振腔体包括:包括:上腔盖,底板结构以及活动式设计的四个侧面板;所述底板结构中心设有微波馈入口,用于向谐振腔体内馈入微波;各个侧面板分别连接在上腔盖与底板结构之间,以...
  • 本申请提供一种基于MPCVD腔体的微波耦合方法及MPCVD腔体,所述方法包括:获取MPCVD腔体在多种微波场叠加方式下的沉积区域内的目标电场参数;根据所述目标电场参数计算MPCVD腔体的边界参数,并根据所述边界参数计算MPCVD腔体侧面...
  • 本技术公开了一种具有冷却结构的法拉第筒,包括:法拉第筒本体,法拉第筒本体包括筒体以及尖端,筒体的一个端部设置有尖端;冷却流道,冷却流道包括第一流道以及第二流道,第一流道以及第二流道相互连通,筒体上设置有第一流道,尖端上设置有第二流道。本...
  • 本技术属于蚀刻领域,本技术公开了一种蚀刻装置,包括:座体,座体上设置有蚀刻腔,座体上设置有薄膜安装区,薄膜安装区用于安装薄膜,薄膜将蚀刻腔分隔为两个腔室;电极,每个腔室内均设置有至少一个电极。本技术利用薄膜将蚀刻腔分隔为两个腔室,如此,...
  • 本技术公开了一种二极偏转磁铁,包括线圈和套装在所述线圈外围的磁轭,所述线圈由2n个马鞍状绕组组成,这些绕组在两相交圆或椭圆的独立区域内上下对称层叠布置,整体的横截面轮廓呈双月牙形,两月牙中绕组电流方向相反,电流密度分布均匀。本技术磁铁可...
  • 本申请涉及一种离子束流的分离装置,设于离子源的输出口,包括:平行于离子束流方向上设置的电极板和磁极板;其中,电极板和磁极板的平面在空间上相互垂直布局,电极板和磁极板相距一定距离设置;电极板包括上下分布的第一电极板和第二电极板,第一电极板...
  • 本申请涉及一种质量分析器及离子注入机,所述质量分析器,包括:设于离子源的输出口的电磁场结构,位于电磁场结构之后设定距离的狭缝板,以及设于狭缝板后方的束流测量装置;电磁场结构产生电磁场,用于对离子源输出的离子束流产生电场力与磁场力,将不同...