本发明涉及清洗方法领域的一种衬底晶片的清洗方法，包括以下步骤：第一步、SPM溶液清洗，晶片放入SPM槽体中进行浸泡；第二步、HF溶液清洗，晶片放入DHF槽体内浸泡；第三步、SC2溶液清洗，将晶片放入SC2槽体内浸泡；第四步、SC1溶液清...

本发明公开了RCA槽式清洗设备技术领域的RCA槽式清洗设备药液浓度自动补偿系统及补偿方法，药液浓度自动补偿系统包括补液箱、供液柜、药液槽、浓度机及控制器，补液箱与供液柜之间设有进液管与进液气动阀，补液箱与药液槽之间设有补液管与补液阀，一...

本技术涉及清洗机领域的曲边玻璃清洗机，包括上料装置、下料装置和清洗机体，上料装置和下料装置分别设置于清洗机体的两端，所述清洗机体内设置有三个以上的清洗机组，相邻的两个清洗机组首尾相连，靠近下料装置一侧的清洗机组连接有风干机组，风干机组远...

本技术公开了清洗机领域的滚筒毛刷清洗机，包括机罩，机罩内设有上下划分的隔板，隔板表面设有依次衔接的入料轨道、清洗轨道和下料轨道，隔板表面设有顺着入料轨道、清洗轨道和下料轨道滑行的载板，清洗轨道中间段设有从下方向上顶出载板的挡板以及对位板...

本技术公开了托盘清洗技术领域的自动托盘清洗机，包括机架，机架的设有上料装置、下料装置、喷淋段及烘段，所述喷淋段包括正面喷淋管与反面喷淋管，喷淋段与烘段的内部均设有输送轨道组件，输送轨道组件具有倾斜角度，双通道的设置能够大幅度提高清洗效率...

本技术公开了清洗机领域的晶圆盒清洗机，包括机罩，机罩内设有由顶板、底板和若干侧面板拼接而成的清洗室，顶板下方设有上旋转片，顶板上方设有穿过顶板连接并控制上旋转片旋转的驱动电机和减速机，底板上方设有下旋转片，底板连接有用于支撑下旋转片的支...

本技术涉及清洗机领域的单晶圆清洗机，包括机架，机架内设置有清洗室、搬运装置和校正装置，机架外侧设置有上料装置，所述清洗室内设置有风干组件、清洗组件和清洗治具，清洗治具包括清洗内腔，清洗内腔设置于清洗室的中部，清洗内腔的上端设置有挡水圈，...