一种微机电系统装置，其具有由牺牲材料形成的支撑结构，所述牺牲材料是以掺杂剂材料选择性扩散或由经选择性氧化的金属牺牲材料形成。所述微机电系统装置包含上面形成有电极的衬底。另一电极通过腔与所述第一电极分离，并形成可移动层，所述可移动层被由经...

本发明提供一种用于检测载货车（１０）的牵引车与挂车（１４）是否连接的传感器装置（２０），所述传感器装置（２０）包括具有多个连接片（２６）的容器，所述连接片向外径向延伸以在所述容器位于支承板（６２）中的孔（８０）中时啮合所述挂车（１４）的...