一种加热炉，包含有一加热腔体、多个加热件、两个轨道以及一放置架。该加热腔体具有一腔体内表面，加热件均匀间隔地设置于该腔体内表面，该两个轨道间隔地设置于该腔体内表面，且该两个轨道之间设置有加热件，该放置架包含有两个分别对应该两个轨道的滑移...

一种晶圆加热装置，设置于一气相磊晶设备的承载台的下方对该承载台上的一晶圆加热，该晶圆加热装置包含有一基座、一加热体以及一热源反射组件。该加热体设置于该基座上并位于该基座与该承载台之间，且该加热体包含一与该基座相隔一间隔空间的加热部及一连...

一种排气环，包含有一环状腔体、至少一可拆盖体以及多个排气孔。该环状腔体包含一顶壁、一相对该顶壁的底壁以及一介于该顶壁与该底壁之间的气流通道，该顶壁具有至少一开口；该可拆盖体对应覆盖该开口，并分别具有多个与该气流通道连通的吸气孔；该排气孔...

本实用新型提供一种排气环，其包括有一环状腔体、一排气孔及多个吸气孔，该环状腔体具有一底壁以及一相邻该底壁的内侧壁，该排气孔设置于该底壁，该吸气孔设置于该内侧壁，且与该底壁具有一间距，该间距小于该内侧壁的宽度的一半。该吸气孔与该排气孔于该...

一种晶圆加热装置，其是对一承载多个晶圆的承载件进行加热，且设置于该承载件远离该多个晶圆的一面，该晶圆加热装置包括一承接板及装设于该承接板上的多个发热线圈，该多个发热线圈以同心设置于该承接板上，其中该多个发热线圈的外圈与内圈为不同平面，且...