本实用新型提供一种半导体废气处理槽的粉尘捕捉装置，安装于该半导体废气处理槽的一水洗区段，该水洗区段分别连通一前置的加热分解区段和一后置的冷却区段，该水洗区段以一集水槽呈现，该粉尘捕捉装置包括枢接于该集水槽内的一拍打器，该拍打器具有可旋动...

一种具火焰通道的半导体废气处理装置，其特征在于包括：　　　　在废器处理槽顶部头座的废气出口端架构形成一火焰通道，该火焰通道包括具有至少一层或一层以上的燃气喷环，各喷环皆具有燃气槽，以环状方式藏设于头座内，并连接一外部燃气导管，该燃气喷环...