半导体废气处理槽的粉尘捕捉装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种半导体废气处理槽的粉尘捕捉装置，安装于该半导体废气处理槽的一水洗区段，该水洗区段分别连通一前置的加热分解区段和一后置的冷却区段，该水洗区段以一集水槽呈现，该粉尘捕捉装置包括枢接于该集水槽内的一拍打器，该拍打器具有可旋动的多只拍杆，使所述拍杆中的一部分和该集水槽内的液态水接触，并使所述拍杆的另一部分悬持于该集水槽的一水洗腔室内，用以捕捉该加热分解区段落入该水洗腔室内的粉尘，使粉尘经由多只所述拍杆的旋转捕捉而强制溶于液态水中，避免让粉尘排流至冷却区段，进而提升水洗区段的粉尘捕捉效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
半导体废气处理槽的粉尘捕捉装置


[0001]本技术涉及半导体制程废气中有害物质的补捉技术，特别是涉及有关一种半导体废气处理槽的粉尘捕捉装置。

技术介绍

[0002]众所周知，半导体制程排放的废气中包含有NF3及F2等有害的氟化物 (PFC)，世界半导体产业协会(WSC)早已将其列为有害气体的减量对象，以免大气层生成温室效应而加剧全球暖化。
[0003]为此，现有半导体废气处理技术的作法，是仰赖一种配置成U型管道状的半导体废气处理槽，使其内部依序规划有一前置的加热分解区段、一中置的水洗区段及一后置的冷却区段。其中，凭借该加热分解区段生成的高温催化手段来捕捉半导体废气中有害的氟化物(PFC)，使得氟化物(PFC)能被催化成无害的氟离子，并使氟离子以外的物质形成粉尘(或称粉末)；接着，结合该加热分解区段或/及该水洗区段提供的充足水分子，而使水分子能和氟离子结合成氟化氢 (HF)，并且凭借该水洗区段存放的液态水和水幕状水分子，而使氟化氢(HF)和粉尘皆能溶于液态水中而易于被过滤及收集；随后，令已无害的净化气体，经由该冷却区段加以冷却及过滤，以利于排放至大气中。
[0004]且知，针对该水洗区段，现有技术是利用一集水槽来存放液态水，让粉尘能自然地落下而溶于水中，惟其相当耗时而且彰显出较低的捕捉粉尘效率。为此，较先进的技术虽然还会在该集水槽的周边安装至少一喷嘴，用以强制喷水而形成水幕状水分子来强制补捉粉尘；但是，当粉尘生成量极大时，仅仰赖趋近于静态的液态水和水幕状水分子来捕捉粉尘，其效率仍显不彰，故亟需加以改进。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术的目的是在于提供一种半导体废气处理槽的粉尘捕捉装置，从而提升现有半导体废气处理槽的水洗区段的粉尘捕捉效率。
[0006]本技术提供一种半导体废气处理槽的粉尘捕捉装置，利于安装在该半导体废气处理槽的一水洗区段，该水洗区段以一集水槽呈现，该集水槽内存放有一液态水，该集水槽内并具有位于该液态水上方的一水洗腔室，该水洗腔室和该半导体废气处理槽的一加热分解区段之间经由一入气口相连通，且该水洗腔室和该半导体废气处理槽的一冷却区段之间经由一排气口相连通；该粉尘捕捉装置包括一拍打器，其特征在于：该拍打器具有枢接于该集水槽的一侧槽壁上的一转轴，以及呈歧状布设于该转轴四周的多只拍杆，使多只所述拍杆中的一部分拍杆和该液态水接触，并使多只所述拍杆中的另一部分拍杆悬持于该水洗腔室内并且对应地坐落于该入气口的下方，该转轴动力连接一驱动器，该驱动器驱动该转轴带动多只所述拍杆旋转，用以捕捉沿该入气口落入该水洗腔室内的粉尘，使粉尘经由多只所述拍杆的旋转捕捉而强制溶于液态水中。
[0007]在进一步实施中，还可包含下述实施细节：
[0008]该水洗区段经由至少一隔板而间隔出多个彼此相连通且能共同存放所述液态水的所述集水槽，多个所述集水槽包含一第一集水槽及一第二集水槽；该水洗腔室包含形成于该第一集水槽的所述液态水上方的一第一水洗腔室，以及形成于该第二集水槽的所述液态水上方的一第二水洗腔室；该入气口连通该第一水洗腔室，该排气口连通该第二水洗腔室，且该拍打器安装于该第一水洗腔室内。
[0009]该第一集水槽和该第二集水槽之间经由一槽口相连通，该槽口上安装有能掀摆式地遮掩该槽口的至少一过滤棉，且至少一所述过滤棉邻近地坐落于多只所述拍杆的一侧收集粉尘。
[0010]该拍打器为安装于该第一水洗腔室内的一第一拍打器，多个所述集水槽还包含至少一能相互连通而存放所述液态水的第三集水槽，至少一所述第三集水槽所存放的所述液态水的上方还形成有一第三水洗腔室，该粉尘捕捉装置还包括安装于该第三水洗腔室内的一第二拍打器。
[0011]该第一集水槽及该第三集水槽的至少其中之一形成有可导流所述液态水并且生成所述水洗腔室的一导流管，该第一拍打器及该第二拍打器的至少其中之一安装于该导流管内。
[0012]多只所述拍杆分别呈波浪状排列，此外多只所述拍杆亦可分别以多只成束且分叉的形态排列，用以增加各该拍杆的表面积而利于粉尘的沾附及捕捉。
[0013]综上所述，本技术所能凭借多支呈歧状布设的所述拍杆的旋转运动，而充分地在所述水洗腔室内捕捉沿该入气口落入的粉尘，且所述拍杆还能拍打液态水，而在所述水洗腔室扬起水滴，用以提供水分子强制接触粉尘和氟离子，用以加重粉尘的重量而溶于液态水中，进而提升半导体废气处理槽的水洗区段的粉尘捕捉效率。其中，所述水洗腔室内还可凭借习知喷嘴的安装，来强制提供水幕状水分子补捉粉尘。
[0014]相关本技术实施上的详细内容，将搭配附图说明于后。
附图说明
[0015]图1是本技术第一种实施例的立体局部剖示图。
[0016]图2是图1中安装的拍打器的立体示意图。
[0017]图3是本技术第二种实施例的立体局部剖示图。
[0018]图4是图3的前视剖示图。
[0019]图5是本技术第三种实施例的立体局部剖示图。
[0020]附图标记说明：10
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半导体废气处理槽；11
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加热分解区段；12
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水洗区段； 121
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集水槽；121a
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第一集水槽；121b
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第二集水槽；121c
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第三集水槽；122
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水洗腔室；122a、122d
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第一水洗腔室；122b、122e
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第二水洗腔室；122c
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第三水洗腔室；123
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排水口；124
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隔板；126
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过滤棉；127
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导水孔；128
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导水管孔；129
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导流管；129a
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第一导流管；129b
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第二导流管；13
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冷却区段；14
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入气口；15
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排气口；20
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粉尘捕捉装置；21
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拍打器；21a
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第一拍打器；21b
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第二拍打器；211
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转轴；212
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拍杆；213
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驱动器；30
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液态水；41
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粉尘；42
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水分子。
具体实施方式
[0021]首先，请参阅图1，揭露本技术的粉尘捕捉装置20的第一种实施例的态样，说
明该半导体废气处理槽10呈现出能接收及导引半导体制程废气的U型管道形态；续依照图4所示，说明该半导体废气处理槽10的内部依气体流通的顺序规划形成有一前置的加热分解区段11、一中置的水洗区段12及一后置的冷却区段13；其中，该粉尘捕捉装置20安装于该水洗区段12。
[0022]进一步的说，该水洗区段12本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体废气处理槽的粉尘捕捉装置，安装于该半导体废气处理槽的一水洗区段，该水洗区段以一集水槽呈现，该集水槽内存放有一液态水，该集水槽内并具有位于该液态水上方的一水洗腔室，该水洗腔室和该半导体废气处理槽的一加热分解区段之间经由一入气口相连通，且该水洗腔室和该半导体废气处理槽的一冷却区段之间经由一排气口相连通；该粉尘捕捉装置包括一拍打器，其特征在于：该拍打器具有枢接于该集水槽的一侧槽壁上的一转轴，以及呈歧状布设于该转轴四周的多只拍杆，使所述多只拍杆中的一部分拍杆和该液态水接触，并使所述多只拍杆中的另一部分拍杆悬持于该水洗腔室内并且对应地坐落于该入气口的下方，该转轴动力连接一驱动器，该驱动器驱动该转轴带动所述多只拍杆旋转，用以捕捉沿该入气口落入该水洗腔室内的粉尘，使粉尘经由所述多只拍杆的旋转捕捉而强制溶于液态水中。2.如权利要求1所述的半导体废气处理槽的粉尘捕捉装置，其特征在于：该水洗区段经由至少一隔板而间隔出多个彼此相连通且能共同存放所述液态水的所述集水槽，多个所述集水槽包含一第一集水槽及一第二集水槽；该水洗腔室包含形成于该第一集水槽的所述液态水上方的一第一水洗腔室，以及形成于该第二集水槽的所述液态水上方的一第二水洗腔室；该入气口连通该第一水洗腔室...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯五良，
申请(专利权)人：冯五良，
类型：新型
国别省市：