一种卷轴型机械波侦测装置，包含：一可挠基板；数个矩阵型机械波感测晶片，每个该矩阵型机械波感测晶片包含有数个机械波感测元件与一控制电路，该些矩阵型机械波感测晶片均匀配置于该可挠基板上；一线路层，形成于该可挠基板上，借以电性连接该些矩阵型机...

本发明公开了一种电容式机械波感测组件及其支撑柱以及机械波收发装置，其中该电容式机械波感测组件包含：一可动组件层，该可动组件层包含一第一导电层与一调整层，该可动组件层具有数个孔洞，该数个孔洞穿透该第一导电层与该调整层；至少一支撑柱，配置于...

一种电容式机械波感测阵列装置，包含：一外壳，该外壳包含一空腔；数个机械波感测组件以一排列结构形成于该空腔中，每个该机械波感测组件包含：一第一可动组件层，包含一第一导电层，该第一可动组件层具有数个第一孔洞，该些第一孔洞穿透该第一导电层；至...

一种电容式机械波感测装置，包含：一可动元件层，包含一第一导电层，具有至少一个机械波感测元件区；数个支撑柱，配置于该可动元件层的下方，依照一机械波感测元件形状定义该至少一个机械波感测元件区，该些支撑柱配置于该机械波感测元件区的角落，且与该...

一种机器人防撞装置，配置于一机器人上并与该机器人进行通信以协助该机器人的防撞工作，包含：一热感测单元，用于侦测一物件所产生的一热源；一存储器，连接该热感测单元；一传输单元，连接该存储器；及一控制单元，连接该热感测单元、该存储器与该传输单...

一种机器人防撞装置及运用该装置的机器人，配置于一机器人上并与该机器人进行通信以协助该机器人的防撞工作，包含：一热感测单元，用于侦测一物件所产生的一热源；一存储器，连接该热感测单元；一传输单元，连接该存储器；及一控制单元，连接该热感测单元...

本发明公开了一种微型集音器及CMOS麦克风单晶片，微型集音器包含一内环支撑型集音薄膜，其具有相互对称配置的数个叶片结构，且该些叶片结构排列为环状，每个叶片结构具有一悬浮梁臂与一箝制梁臂，并由该些悬浮梁臂连接悬浮支点，悬浮支点与叶片结构具...

本发明公开了一种CMOS感测组件、CMOS单晶片及制造方法，本发明的CMOS单晶片，包含：可动薄膜、至少一支撑柱、基底金属层与电路集成；其中，可动薄膜配置于CMOS单晶片的顶面，具有多个穿孔；支撑柱配置于可动薄膜的下方，以提供可动薄膜支...

本发明公开了一种具侧边空腔的微型集音器及CMOS麦克风单晶片，具侧边空腔的微型集音器包含：一基底金属层、一可动薄膜、一环状侧壁及一侧边金属层；其中，可动薄膜与基底金属层面对而构成篓空的一振动空间；侧边金属层形成于可动薄膜的旁侧，由环状侧...

本发明公开了一种支撑柱、微型集音器、CMOS麦克风单晶片，支撑柱形成于一可动薄膜下方，用以支撑该可动薄膜，包含：数个第一微形金属柱、基底金属连接柱层与第一氧化包覆层；其中，第一微形金属柱形成于可动薄膜下方，并与可动薄膜形成金属导接；基底...

一种支撑柱，形成于一可动薄膜下方，用以支撑该可动薄膜，包含：数个第一微形金属柱、基底金属连接柱层与第一氧化包覆层。其中，第一微形金属柱形成于可动薄膜下方，并与可动薄膜形成金属导接；基底金属连接柱层形成于第一微形金属柱下方，与第一微形金属...