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菲姆图姆公司专利技术
菲姆图姆公司共有1项专利
用于修改具有半导体波导的光子芯片的方法和系统技术方案
描述了一种修改具有半导体波导的光子芯片的方法。该方法通常具有:将校正激光束的焦点引导至光子芯片的一部分内,该部分为靠近半导体波导的部分和在半导体波导内的部分中的一者,校正激光束具有大于半导体波导的带隙波长的中心波长,所述引导修改半导体波...
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