EV集团有限责任公司专利技术

EV集团有限责任公司共有22项专利

  • 一种用于从通过连接层与晶片相连接的载体中分离晶片的装置,其带有用于接收由载体与晶片构成的载体晶片复合体的接收装置、用于解开载体与晶片之间的通过连接层设置的连接的解开连接器件和用于从载体中分离晶片或者从晶片中分离载体的分离器件,其中,解开...
  • 本发明涉及从基板表面松动聚合物层的设备和方法。该设备具有以下特征:基板保持装置,其用于接收基板,特别地在与所述表面相对的基板后侧上,涂覆装置,其将用于松动聚合物层的流体涂覆到聚合物层上,特别地涂覆到聚合物层的整个顶侧上,以及加热装置,其...