本技术公开了一种便于维护的镀膜室，涉及磁控溅射设备维护领域，包括镀膜室以及镀膜室的两个侧壁侧壁一与侧壁二，所述镀膜室的内腔中设有可移动遮挡板，所述遮挡板的上端设有用于驱动遮挡板移动的第一驱动装置，所述遮挡板的底端设有用于遮挡板移动的第一...

本技术公开了一种监测靶材厚度的磁控溅射设备，涉及靶材厚度检测技术领域，包括溅射设备的腔体，所述腔体的内壁包括腔体侧壁一和腔体侧壁二，所述腔体侧壁二的一面设有可进行竖直与横向的移动的激光测距仪，所述腔体侧壁一的一面固定连接有靶材，所述腔体...

本发明涉及门阀维护技术领域，具体涉及一种真空镀膜设备门阀便捷维护结构，包括机体，机体上设置有相邻的第一腔体和第二腔体，第一腔体和第二腔体之间设有用于通断的门阀，机体的侧壁与门阀对应的位置设有维护窗口，维护窗口处设置有维护门，维护门包括固...

本发明涉及磁控溅射设备维护技术领域，具体涉及一种磁控溅射真空镀膜腔室内气管除尘清洁装置，用于对真空腔室进行除尘清洁，包括工业吸尘器，所述清洁气管滑动设置在真空腔室内部的底部上，且清洁气管上开设有多个吸气孔，所述驱动机构设置在真空腔室的内...

本发明涉及新能源电池制备技术领域，具体涉及一种钙钛矿太阳能电池减反射膜、钙钛矿太阳能电池及钙钛矿太阳能组件。本发明的钙钛矿太阳能电池减反射膜，包括非晶SiO2膜层和至少一组高‑低‑高折射率复合膜。本发明具有如下技术效果：本发明提供了一种...