电荷科技张家港有限公司专利技术

电荷科技张家港有限公司共有1项专利

  • 本发明涉及晶圆封装领域,具体涉及一种多尺寸载片晶圆通用型预键合结构及其使用方法,包括预键合腔体,所述预键合腔体的内部固定有载台支架,所述载台支架的顶部固定有载台,所述载台的四周设置有测量夹紧对中机构,所述载台的内壁中滑动设置有支撑杆,所...
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