大连鸿贺佳宝精密机械有限公司专利技术

大连鸿贺佳宝精密机械有限公司共有1项专利

  • 本发明提供一种光刻设备的工件夹持稳固装置,涉及半导体制造技术领域,包括:架体;所述架体上安装有两个一号板和两个二号板,两个一号板之间以及两个二号板之间均安装有两根导杆,一号板上的两根导杆以及二号板上的两根导杆上均活动有起落板;本发明通过...
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