与构成串联型薄膜硅太阳能电池的制造用的ＶＨＦ等离子ＣＶＤ装置的等离子产生源有关，其目的在于提供能够抑制驻波的影响以及在一对电极之间以外产生的有害等离子的产生、并且抑制供给电力的在这一对电极之间以外的消耗的大面积.均匀的ＶＨＦ等离子ＣＶＤ...

本发明提供一种集成化串联型薄膜硅太阳能电池模块及其制造方法，该集成化串联型薄膜硅太阳能电池模块是具有中间层的结构，其抑制了通过中间层导致的漏泄电流，且抑制了在相邻的串联型薄膜硅太阳能电池单体的电接合部处无效面积的增加，具有高效发电性能。...