本发明涉及能够快速均匀地加热多张大面积基板，干燥性能和去除装置内的烟雾的效果好的多级式基板干燥装置。多级式基板干燥装置包括：多个基板干燥模块，配置成沿着上下方向隔开规定间隔地层压的形态，以将基板嵌入于内部的状态加热基板来使基板干燥；基板...

本发明提供由食物垃圾生成碳化固体物及可溶液的方法及其生成装置，上述方法包括向具有蒸气发生装置的加温压力反应器投入食物垃圾的步骤及从蒸气发生装置向加温压力反应器的内部投入饱和水蒸气来使食物垃圾分离为可溶液及碳化固体物的步骤。本发明的由食物...

本发明提供一种用于煤炭火力发电混烧的干燥污泥的处理装置，其特征在于，包括：储存部，其用于接收和保管干燥污泥，粉碎部，其与上述储存部相连接，用于从上述储存部接收干燥污泥，并对干燥污泥进行粉碎，气流移送部，其利用气压的差异来通过管道移送由上...

本发明提出一种接收作为固体粉末的煤炭底灰与硫磺的混合物来形成所需要的成型形状的产品的硫磺固体化成型物制备系统及制备方法。本发明的硫磺固体化成型物制备系统包括：连续式混合单元，其用于对包含煤炭底灰和硫磺在内的原料进行混合，以及硫磺气体回收...

本发明涉及晶片清洗装置及其工序方法，更详细地，涉及在用于去除晶片颗粒的清洗过程中即使不使用中性洗剂也能够完全去除上述颗粒来提供优质的晶片的晶片清洗装置及其工序方法。