CMP科学公司专利技术

CMP科学公司共有2项专利

  • 提供了用于分析样品的系统和方法。在一些实施方案中,质谱仪可包括被配置为输出多个粒子的源、具有中心轴线的管和撇渣器。在一些实施方案中,撇渣器可以包括被布置成接收由偏转器偏转的一个或多个带电粒子的孔和包括与管的中心轴线相交的交点的接触表面。...
  • 提供了用于分析样品的系统和方法。在一些实施方案中,质谱仪可以包括:被配置为输出一种或多种离子的源、具有不同压力的多个室、被配置为检测所述一种或多种离子的检测器、以及粒子导向器。多个室可以至少包括具有小于大气压力的第一压力的第一室和具有小...
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