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CMC专利技术

CMC共有3项专利

用于抛光掺杂有硼的多晶硅的组合物及方法技术

本发明提供化学机械地抛光基板

最后更新日期：2023-12-17 23:51 访问量：19
用于高形貌选择性的自停止性抛光组合物与方法技术

本发明提供化学机械抛光组合物，其包含：

最后更新日期：2023-12-03 19:52 访问量：19
具有受控的纹理表面的终点窗制造技术

化学机械抛光垫窗，其具有包括重复的图案化特征的受控的纹理表面

最后更新日期：2023-11-25 18:56 访问量：10