本实用新型公开了一种半导体检测用定位精度高的相干探测显微镜，包括底板，所述底板顶部的四周均安装有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的顶部固定连接有连接板，所述连接板的顶部开设有凹槽，所述凹槽的内腔通过轴承转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆外表...