本发明涉及集成电路技术领域，且公开了一种晶圆盒及充气系统，包括箱体和箱盖，所述箱体和箱盖活动连接，所述箱盖的内部设有加热腔，所述加热腔通过进气阀连接外部换气设备。该晶圆盒及充气系统，通过较热的新气将旧气压出，由于新旧气的温度不同，密度也...

本发明涉及集成电路技术领域，且公开了一种适用于负压扩散炉的压力控制系统，包括排气管和真空泵，所述排气管和真空泵之间通过控制管连通，所述控制管的内侧壁活动连接有活动管，所述活动管和控制管之间设置有相互重合的配合孔，所述活动管的一侧设有稳压...

本发明涉及特种玻璃制备技术领域，且公开了一种用于制造特种玻璃的坩埚熔窖，包括支撑台面，所述支撑台面的底部和顶部分别固定安装有电弧加热装置和玻璃窑窖，所述电弧加热装置和玻璃窑窖之间相互连通。该用于制造特种玻璃的坩埚熔窖，通过通风管路的设置...

本发明涉及阀门设备领域，且公开了一种使用寿命高的弹簧式安全阀，包括阀体、阀芯、阀杆、密封套、弹簧，阀体内腔的底部设有阀芯，阀芯顶端的中部固定连接有阀杆，阀体内腔的中部设有密封套，阀芯与密封套之间套装有弹簧，所述阀杆上固定套装有磁板，所述...